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論文

Promising neutron irradiation applications at the high temperature engineering test reactor

Ho, H. Q.; 本多 友貴*; 濱本 真平; 石井 俊晃; 高田 昌二; 藤本 望*; 石塚 悦男

Journal of Nuclear Engineering and Radiation Science, 6(2), p.021902_1 - 021902_6, 2020/04

High temperature engineering test reactor (HTTR), a prismatic type of the HTGR, has been constructed to establish and upgrade the basic technologies for the HTGRs. Many irradiation regions are reserved in the HTTR to be served as a potential tool for an irradiation test reactor in order to promote innovative basic researches such as materials, fusion reactor technology, and radiation chemistry and so on. This study shows the overview of some possible irradiation applications at the HTTRs including neutron transmutation doping silicon (NTD-Si) and iodine-125 ($$^{125}$$I) productions. The HTTR has possibility to produce about 40 tons of doped Si-particles per year for fabrication of spherical silicon solar cell. Besides, the HTTR could also produce about 1.8$$times$$10$$^{5}$$ GBq/year of $$^{125}$$I isotope, comparing to 3.0$$times$$10$$^{3}$$ GBq of total $$^{125}$$I supplied in Japan in 2016.

論文

Feasibility study of new applications at the high-temperature gas-cooled reactor

Ho, H. Q.; 本多 友貴*; 濱本 真平; 石井 俊晃; 高田 昌二; 藤本 望*; 石塚 悦男

Proceedings of 9th International Topical Meeting on High Temperature Reactor Technology (HTR 2018) (USB Flash Drive), 6 Pages, 2018/10

Besides the electricity generation and hydrogen production, HTGRs have many advantages for thermal neutron irradiation applications such as stable operation in longterm, large space available for irradiation target, and high thermal neutron economy. This study summarized the feasibility of new irradiation applications at the HTGRs including neutron transmutation doping silicon and I-125 productions. The HTTR located in Japan was used as a reference HTGR in this study. Calculation results show that HTTR could irradiate about 40 tons of doped Si particles per year for fabrication of spherical silicon solar cell. Besides, the HTTR could also produce about 1.8x105 GBq in a year of I-125, comparing to 3.0x103 GBq of total I-125 supplied in Japan in 2016.

論文

Proposal of a neutron transmutation doping facility for n-type spherical silicon solar cell at high-temperature engineering test reactor

Ho, H. Q.; 本多 友貴; 元山 瑞樹*; 濱本 真平; 石井 俊晃; 石塚 悦男

Applied Radiation and Isotopes, 135, p.12 - 18, 2018/05

 被引用回数:7 パーセンタイル:58.07(Chemistry, Inorganic & Nuclear)

The p-type spherical silicon solar cell is a candidate for future solar energy with low fabrication cost, however, its conversion efficiency is only about 10%. The conversion efficiency of a silicon solar cell can be increased by using n-type silicon semiconductor as a substrate. This study proposed a new method of neutron transmutation doping silicon (NTD-Si) for producing the n-type spherical solar cell, in which the Si-particles are irradiated directly instead of the cylinder Si-ingot as in the conventional NTD-Si. By using a screw, an identical resistivity could be achieved for the Si-particles without a complicated procedure as in the NTD with Si-ingot. Also, the reactivity and neutron flux swing could be kept to a minimum because of the continuous irradiation of the Si-particles. A high temperature engineering test reactor (HTTR), which is located in Japan, was used as a reference reactor in this study. Neutronic calculations showed that the HTTR has a capability to produce about 40 ton of 10 $$Omega$$ cm resistivity Si-particles for fabrication of the n-type spherical solar cell.

報告書

Irradiation test with silicon ingot for NTD-Si irradiation technology

竹本 紀之; Romanova, N.*; 木村 伸明; Gizatulin, S.*; 斎藤 隆; Martyushov, A.*; Nakipov, D.*; 土谷 邦彦; Chakrov, P.*

JAEA-Technology 2015-021, 32 Pages, 2015/08

JAEA-Technology-2015-021.pdf:3.15MB

日本原子力研究開発機構・照射試験炉センターでは、産業利用拡大の観点からJMTRを活用した中性子核変換ドーピング(Neutron Transmutation Doping: NTD)法によるシリコン半導体製造を検討している。この検討の一環として、カザフスタン共和国核物理研究所(INP)との原子力科学分野における研究開発協力のための実施取決め(試験研究炉に関する原子力技術)のもとで、INPが有するWWR-K炉を用いたシリコンインゴット試料の照射試験を行うこととした。まず、シリコン回転装置を製作してWWR-K炉に設置するとともに、シリコンインゴット試料の照射位置における中性子照射場の評価を行うため、フルエンスモニタを用いた予備照射試験を行った。次に、予備照射試験結果に基づき、2本のシリコンインゴット試料の照射試験を行うとともに、照射後の試料の抵抗率等を測定し、試験研究炉を用いた高品位シリコン半導体製造の商用生産への適用性について評価を行った。

論文

中性子パワーで半導体をつくる

米田 政夫; 川崎 幸三*

波紋, 24(特別号), 2 Pages, 2014/11

シリコンドーピングについての解説記事を執筆する。主な内容は次の通りとなる。NTDシリコンの原理、日本におけるNTDシリコンの生産について、世界におけるNTDシリコンの生産について、及びNTDシリコンの今後の動向について。

論文

Study on energy response of a solid state nuclear track detector to neutrons up to 80MeV

中根 佳弘; 坂本 幸夫

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A, 471(3), p.348 - 357, 2001/10

 被引用回数:3 パーセンタイル:28.27(Instruments & Instrumentation)

固体飛跡検出器は個人被ばく及び放射線場の測定において広く用いられている。検出器の応答関数について、20MeV以上では標準場及び反応課程の複雑さなどにより、これまで実験及び計算のいずれもほとんど行われていない。本研究では固体飛跡検出器の中高エネルギー中性子測定への応用を目指し、応答関数計算コードSSNRESを80MeVの入射中性子まで考慮できるよう改良するとともに、1mm厚さのラジエータを有する反跳陽子型固体飛跡検出器の応答関数をTIARA及び東北大CYRICの22-65MeV準単色中性子場で測定し、コードの制度検証を行った。その結果、22-40MeV中性子に対する応答計算値は実験値を12%以内で再現した。また65MeV実験値に対しては22-28%の過小となった。これは低エネルギー線源スペクトルの評価精度、計算において酸素原子を炭素原子置き換えたためと推定される。

論文

Present status of the innovative basic research on high-temperature engineering using the HTTR

数土 幸夫; 星屋 泰二; 石原 正博; 柴田 大受; 石野 栞*; 寺井 隆幸*; 奥 達雄*; 本橋 嘉信*; 田川 精一*; 勝村 庸介*; et al.

Proceedings of OECD/NEA 2nd Information Exchange Meeting on Basic Studies in the Field of High-temperature Engineering, p.39 - 50, 2001/00

原研では、高温における照射によって、従来は実現できなかった新素材の創製,新しい化学反応プロセスの開発,炉内計測技術開発等を目指した高温工学に関する先端的基礎研究を進めている。本発表では、これまでの予備試験結果として、(1)新素材・材料開発(高温高性能SiC半導体の中性子転換ドーピング,高温酸化物超電導体の照射改質,耐熱型炭素・SiC系複合材料の機構解明),(2)高温放射線化学(高温放射線場の特異反応等),(3)高温炉内計装技術開発(耐熱・耐放射線光ファイバ)に関する最近の成果概要を総括するとともに、HTTR照射試験に向けての国際協力を視野にいれた今後の計画を報告する。

論文

Monte Carlo calculation and measurement of energy response of a solid state nuclear track detector to neutrons from 100keV to 20MeV

中根 佳弘; 中島 宏; 坂本 幸夫

Radiat. Meas., 27(3), p.445 - 452, 1997/00

 被引用回数:10 パーセンタイル:63.12(Nuclear Science & Technology)

100keVから20MeVまでの入射中性子に対する固体飛跡検出器の応答関数を計算するモンテカルロコードシステムSSNRESを開発した。本システムではエッチピットとして検出された荷電粒子の条件として、粒子の飛程から求めた素子の検出領域に付与されるエネルギーの関数として定義された臨界角及び検出粒子の下限エネルギーを考慮した。本システムの検証を行うため、ポリエチレンラジエータを装着した反跳陽子型の固体飛跡検出器の応答関数を250keV、1MeV、5MeV、15MeVの準単色中性子場及び$$^{252}$$Cf中性子源を用いて測定した。本システムによる計算結果はこれらの実験値をよく再現した。また解析結果から、入射中性子エネルギーの違いによる、ラジエータ及び素子で各々生成した荷電粒子の種類毎の応答関数への寄与の割合についても調べた。

論文

Measurement of reaction rate distributions in a plastic phantom irradiated by 40-and 65-MeV guasi-monoenergetic neutrons

中根 佳弘; 中島 宏; 坂本 幸夫; 田中 俊一

Radiat. Meas., 28(1-6), p.479 - 482, 1997/00

 被引用回数:4 パーセンタイル:37.13(Nuclear Science & Technology)

加速器施設の遮蔽計算に用いられる輸送計算コードの20~100MeV領域中性子に対する精度検証を目的として、TIARAの40及び65MeV準単色中性子入射によるアクリルファントム内反応率分布を2種類の検出器で測定した。$$^{238}$$U核分裂反応率分布について、19.6MeV以上の中性子輸送をHETCコード、それ以下をMORSEコードとHILO86群定数で計算した結果、深さ25cmでは、実験値より約25%過大となった。一方全てのエネルギー領域をMORSEコードとHILO86群定数で計算した結果、深さ25cmにおいても実験値とほぼ一致した。また反跳陽子型の固体飛跡検出器の反応率分布についてMORSEコードで計算した結果、40MeV中性子入射、深さ15cmから25cmの範囲では実験値とほぼ一致するが、65MeV中性子入射では1~3割程度過大となり、用いた検出器応答関数などについて検討が必要であることが判明した。

論文

大口径半導体シリコン製造のための均一照射装置の整備

鳥居 義也; 堀口 洋二; 大友 昭敏; 鯉淵 薫; 落合 康明; 重本 雅光; 一色 正彦

UTNL-R-0333, 0, p.9.1 - 9.10, 1996/00

大口径でかつ高品位な電気特性を有する半導体シリコンの製造は、在来法では限界がある。これに対し、原子炉の中性子照射を利用し製造された半導体シリコンは均一度が優れることから、高い電気特性を有し、半導体製造分野において欠くことのできない存在である。これまで、原研研究炉では最大口径4インチの半導体シリコン製造のための照射を実施してきた。しかし、半導体開発の進展に伴いより大口径の照射が望まれた。このためJRR-3M均一照射装置を改造し、口径6インチ長さ60cmのシリコンを3%の均一度で照射できる装置とした。本発表では、改造の概要及び開発した新機構について報告し、特性測定の結果を解説する。

報告書

HTTRによる高温高性能半導体の製造の有用性についての検討

柴田 大受

JAERI-Review 95-005, 81 Pages, 1995/03

JAERI-Review-95-005.pdf:2.53MB

HTTRは数十cmの大型試料を約1000$$^{circ}$$Cまでの高温で照射できる能力を有する。そこで、高温環境下での動作が可能な高性能半導体として有望なGaAsやSiC半導体をHTTRを用いて製造する方法の有用性、実現可能性について検討した。まず、NTD法の現状について調べ、その利点と問題点を明らかにした。これに基づき、GaAs及びSiCへのNTD法の適用性を調べ、HTTRを用いた製造の有用性について基礎的な検討を行った。その結果、NTD法はSiCには有望であるがGaAsには適切ではないこと、さらに、SiC結晶の大型化が実現できれば、HTTRの特徴を生かして、(1)照射損傷の抑制、(2)不純物分布の均一性、(3)大型試料の照射による生産性の向上、の点で効果的なSiC半導体の製造が可能になることを明らかにした。

論文

NTD-Siウェハーのキャリアライフタイムと移動度の熱処理特性

前川 隆雄*; 井上 正三*; 宇佐美 晶*; 青山 功

KURRI-TR-289, p.41 - 45, 1987/00

シリコン単結晶にNTD法によりリン原子を注入する場合の問題点は、中性子照射に伴いシリコン単結晶中に欠陥が生成し、半導体素子としての電気的特性に影響を生ずることである。 本報告では、シリコン単結晶(インゴット又はウエハー)をJRR-2のVT-5及びVT-9孔で照射(0.18~5.5$$times$$10$$^{1}$$$$^{8}$$ n/cm$$^{2}$$)し、照射後140~1,150$$^{circ}$$Cと変化させた熱処理を行うことにより、上述の欠陥の回復効果を次の電気的特性を測定することにより検討した結果を述べる。 1.導電率、2.キャリア移動度、3.キャリアライフタイム、結果は、上記1及び2に影響を与える大型のdefectクラスターは、650$$^{circ}$$C,60分の熱処理により除去できるが、上記3に影響を与える小型のクラスターは、熱処理温度1,000$$^{circ}$$C位まで残存することが判った。

報告書

中性子照射によるシリコンドーピング

堀口 洋二; 梅井 弘

JAERI-M 86-002, 31 Pages, 1986/02

JAERI-M-86-002.pdf:0.91MB

シリコン単結晶に中性子を照射し リンをドレ-ププする。NTD法は、次の核反応により行われる.$$^{3}$$$$^{0}$$Si(u,r)$$^{3}$$$$^{1}$$Si$$rightarrow$$$$^{3}$$$$^{1}$$P+$$beta$$$$^{-}$$ この方法は、シリコン中にリンが均一にド-プされるため、シリコン半導体製造の一分野として現在、各国において用いられている。原研においては、1975年より研究を開始し1977年7月より実用照射を行っている。本報告は、原研における過去10年間の研究開発とド-ピング技術についてまとめたものである。

論文

半導体シリコンの中性子照射によるドープ技術

山本 章

Radioisotopes, 26(11), P. 1772, 1977/11

半導体シリコンを原子炉で照射することによって、リンをドープする技術が開発され、NTDシリコンの生産が開始された。このドープ技術は、1961年にM.Tanenbaun等が最初の詳細な実験結果を発表しがた、約10年間は生産に適用されることなく忘れられた。しかし、半導体シリコンおよびその素子の生産技術が発達し、素子の性能および経済性に関する強い要求が高まり、1973年以来このドープ法が再評価され、生産を指向した実験がなされた。中性子照射によるドープ法は、シリコン中に同位体として存在する$$^{3}$$$$^{0}$$Siが(n,$$gamma$$)反応によって$$^{3}$$$$^{1}$$Siに変換され、これが$$beta$$崩壊して安定な$$^{3}$$$$^{1}$$Pに変換することを利用して、シリコン中にリンの必要量を均一にドープする方法である。本稿は、日本アイソトープ協会のRADIOISOTOPESの文献紹介欄に、文献紹介をかねて、このドープ技術の概要を執筆したものである。

口頭

Neutron transmutation doping of silicon and boron neutron capture therapy in research reactors

米田 政夫

no journal, , 

ベトナムで開催される日越原子力研究・人材育成フォーラムに出席し、研究用原子炉に関する情報収集及び研究用原子炉の活用について講演する。講演では、研究用原子炉の2件の活用例について発表する。一つ目は、研究用原子炉JRR-3で実施している、シリコンのドーピング手法の一つである中性子核変換ドーピングについて発表する。二つ目は、研究用原子炉JRR-4で実施している、医療照射手法の一つであるホウ素中性子補足療法について発表する。

口頭

Neutron transmutation doping of n-type spherical silicon solar cell at high-temperature engineering test reactor

Ho, H. Q.; 本多 友貴; 濱本 真平; 石井 俊晃; 石塚 悦男

no journal, , 

This study proposed a new method of neutron transmutation doping silicon (NTD-Si) for producing the n-type spherical solar cell at the high temperature engineering test reactor (HTTR), in which the Si-particles are irradiated directly instead of the cylinder Si-ingot as in the conventional NTD-Si. By using a screw, an identical resistivity could be achieved for the Si-particles without a complicated procedure as in the NTD with Si-ingot. Also, the reactivity and neutron flux swing could be kept to a minimum because of the continuous irradiation of the Si-particles.

口頭

HTTRにおける太陽電池パネル用球状シリコン半導体の製造量評価

石井 俊晃; Ho, H. Q.; 本多 友貴; 濱本 真平; 石塚 悦男

no journal, , 

現在利用されている太陽光発電パネルは、単結晶または多結晶のシリコンウェーハが90%を占めている。シリコンウェーハは、インゴッドを切断して研磨することで製造するため、大量のシリコン廃棄物が発生するとともに製造コストが高くなる要因となっている。これに対して、球状シリコンはシリコンを溶融して滴下させて製造するため安価であるがP型のみ製造されている。しかし、P型はキャリアライフタイム及び少数キャリア拡散長が短いためN型より発電効率が悪い。このため、安価でN型の球状シリコンの製造方法を検討した。N型シリコンの製造方法の一つとして、中性子核変換ドーピング法(NTD-Si)が有る。この方法は特別な装置を必要とせず、中性子を照射するだけで製造することができるが、十分な照射体積が確保されている必要がある。HTTRでは反射体領域が大きく十分な照射体積を確保することができるため、球状シリコンを連続的に供給して吸引チューブにより連続的に取り出す方法を考案した。本報告では製造コスト評価の一環として、HTTRが定格出力で約1年間運転した場合のN型球状シリコンの最大製造量を評価した。

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